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 人造金剛石技術(shù)-----
《人造金剛石大顆粒單晶生長(cháng)技術(shù)工藝精選匯編》

各位讀者：大家好！

       自從我公司２０００年推出每年一期的超硬材料砂輪磨具系制造列新技術(shù)匯編以來(lái)，深受廣大企業(yè)的歡迎，在此，我們衷心地感謝致力于創(chuàng )新的新老客戶(hù)多年來(lái)對我們產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)的認同，由衷地祝愿大家工作順利!

      磨料磨具磨削素有“工業(yè)的牙齒”之稱(chēng)，不僅與裝備制造、航空航天、船舶、新能源、汽車(chē)、家電、電子信息等行業(yè)密切相關(guān)，而且已滲透到人們生活的各個(gè)方面。我國現有磨料磨具磨削生產(chǎn)企業(yè)２０００多家；２０１２年工業(yè)總產(chǎn)值超過(guò)１０００億元。預計到2016年，中國將超過(guò)美國成為世界最大的磨料磨具磨削生產(chǎn)國。

      ２０１６年，國家提出的十大重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)調整和振興規劃，以及新近發(fā)布的關(guān)于加快七大戰略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的決定，對現代高端制造業(yè)的磨切工具及其技術(shù)發(fā)展提出了更高的要求。

       為推動(dòng)國內現代制造業(yè)的技術(shù)升級和產(chǎn)品換代，實(shí)現節能環(huán)保、減排增效和綠色制造的目標，促進(jìn)國民經(jīng)濟的高效和持續發(fā)展。提高金剛石砂輪磨具的產(chǎn)品質(zhì)量，我公司特推出本期新技術(shù)工藝配方匯編。

《人造金剛石大顆粒單晶生長(cháng)技術(shù)工藝精選匯編》

       近年,我國超硬材料、磨料磨具新技術(shù)發(fā)展迅猛，涌現出許多優(yōu)秀的新技術(shù)、新成果、優(yōu)秀專(zhuān)利技術(shù)，特別專(zhuān)門(mén)從事人造金剛石生產(chǎn)及制品研究機構和磨具磨料生產(chǎn)企業(yè)在科技創(chuàng )新方面取得了巨大的進(jìn)步。為了讓廣大生產(chǎn)企業(yè)、科技人員及時(shí)了解和掌握人造金剛石最新技術(shù)發(fā)展我們特收集整理了本期技術(shù)資料。

     《人造金剛石大顆粒單晶生長(cháng)技術(shù)工藝精選匯編》涉及國內外著(zhù)名公司、科研單位、知名企業(yè)的最新專(zhuān)利技術(shù)全文資料，工藝配方詳盡，技術(shù)含量高、環(huán)保性強是從事高性能、高質(zhì)量、產(chǎn)品加工研究生產(chǎn)單位提高產(chǎn)品質(zhì)量、開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品的重要情報資料。

       資料中包括制造人造金剛石原料，技術(shù)配方、生產(chǎn)工藝、處理工藝、成型工藝、產(chǎn)品性能測試及標準、解決的具體問(wèn)題、產(chǎn)品制作實(shí)施例等等，是企業(yè)提高產(chǎn)品質(zhì)量和發(fā)展新產(chǎn)品的重要、實(shí)用、超值和難得的技術(shù)資料。本篇專(zhuān)集資料分為上、下兩冊，A4紙大，共809頁(yè)現貨發(fā)行，歡迎訂購！

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  《人造金剛石大顆粒單晶生長(cháng)技術(shù)工藝精選匯編》

 內容描述摘要及頁(yè)碼

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１    西安交通大學(xué)橫向搭橋拼接生長(cháng)大面積單晶金剛石的方法

         將單晶金剛石襯底Ｉ和單晶金剛石襯底ＩＩ進(jìn)行拼接，在接縫處生長(cháng)出橋狀連接部分，并繼續外延生長(cháng)得到完整的大面積單晶金剛石層；

         其中，單晶金剛石襯底Ｉ在拼接處的厚度小于單晶金剛石襯底ＩＩ在拼接處的厚度。解決了金剛石拼接生長(cháng)過(guò)程中拼接縫明顯，金剛石容

         易發(fā)生相對移動(dòng)的問(wèn)題，從而降低拼接處出現裂紋甚至裂開(kāi)的風(fēng)險．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．１

２    單晶金剛石的生長(cháng)方法，這種生長(cháng)方法通過(guò)三層結構來(lái)生長(cháng)高質(zhì)量單晶金剛石

         解決了傳統金剛石生長(cháng)過(guò)程中外延層高的生長(cháng)速率與外延層質(zhì)量之間相矛盾的問(wèn)題．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．９

３    武漢大學(xué)單晶金剛石生長(cháng)方法和裝置，能夠實(shí)現大尺寸單晶金剛石的快速生長(cháng)

         所提供的單晶金剛石生長(cháng)方法，包括如下步驟：將金剛石襯底放置于諧振腔中；將含有碳源和氫氣的反應氣體通入電離腔中進(jìn)行充分電離，

         然后將電離后的氣體通入諧振腔中進(jìn)行微波等離子體化學(xué)氣相沉積，在襯底上快速生長(cháng)金剛石．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．１８

４    六號元素有限公司一種單晶ＣＶＤ合成金剛石層

         包括非平行的位錯陣列，其中當在Ｘ射線(xiàn)形貌斷面圖中觀(guān)察或在發(fā)光條件下觀(guān)察時(shí)，非平行的位錯陣列包含形成一組相互交叉的位錯的多

         個(gè)位錯．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．２６

５    激光增強等離子體ＣＶＤ制備單晶金剛石裝置及其方法

         結合微波能（或電能）和激光兩種能量，利用低成本的高能量激光提高金剛石合成過(guò)程中等離子體的能量和氣體離解速率，從而提高金剛

         石的合成速率，該方法有效解決了金剛石高速批量制備的難題．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．５３

６    單晶金剛石制備裝置以及方法

         該單晶金剛石制備裝置，在制備單晶金剛石的過(guò)程中，使反應氣體經(jīng)過(guò)摻雜裝置，從而將水蒸氣帶入到反應腔內，實(shí)驗結果表明，通入水

          蒸氣制得的金剛石顏色和純凈度比不通水蒸氣更好，而且外緣處的幾乎無(wú)多晶產(chǎn)生．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．５９

７    金剛石制備技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種拼接生長(cháng)單晶金剛石的方法及系統

         采用ＣＶＤ法拼接生長(cháng)單晶金剛石，達到大面積生長(cháng)單晶金剛石的目的，現有單晶金剛石的生長(cháng)只能在原有的籽晶上進(jìn)行縱向擴大，這樣

         籽晶的尺寸直接決定了合成的尺寸，采用兩個(gè)尺寸相同，厚度接近的單晶金剛石片進(jìn)行固定拼接，然后同時(shí)生長(cháng)，獲得大尺寸單晶金剛石，

         解決了瓶頸問(wèn)題．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．７０

８    涉及晶體合成技術(shù)領(lǐng)域，提供一種金剛石單晶生長(cháng)裝置及方法

         裝置包括：沉積臺和可升降中心柱；所述沉積臺上設有沉積臺孔，可升降中心柱上設有與所述沉積臺孔配合的孔柱，孔柱設置在沉積

         臺孔中。能夠有效地提高金剛石單晶生長(cháng)質(zhì)量，解決一次生長(cháng)不了太厚的問(wèn)題．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．７６

９    浙江工業(yè)大學(xué)鍺空位（Ｇｅ?Ｖ）發(fā)光的金剛石顆粒及其制備方法

         在石英襯底上采用磁控濺射的方法，制備一系列不同厚度的鍺涂層樣品；在步驟（１）得到的襯底上采用熱絲化學(xué)氣相沉積的方法制備分

         散的金剛石顆粒。提供的具有Ｇｅ?Ｖ發(fā)光的金剛石顆粒的尺寸為０．５～３．５μｍ，對于實(shí)現其在單光子源、量子信息處理、光電子器

         件等領(lǐng)域的應用具有非常重要的科學(xué)意義和實(shí)際價(jià)值．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．８４

１０微波等離子體化學(xué)氣相沉積方法生長(cháng)單晶金剛石領(lǐng)域，梯度單晶金剛石及其制備方法

         采用微波等離子體化學(xué)氣相沉積設備，在氫氣甲烷混合氣源中連續性梯度濃度通入高純空氣，實(shí)現不含氮的高質(zhì)量單晶金剛石層和含氮金

         剛石層的交替沉積，制備出高質(zhì)量、高強度、韌性好的梯度單晶金剛石．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．９９

１１基于Ⅱａ型天然金剛石的同質(zhì)外延生長(cháng)單晶金剛石的方法

         利用微波等離子體化學(xué)氣相沉積法高溫刻蝕Ⅱａ型單晶金剛石，利用產(chǎn)生的碳源生長(cháng)金剛石，能有效提高單晶金剛石生長(cháng)所需碳源的純度，

         得到的單晶金剛石質(zhì)量好，且生長(cháng)出的單晶金剛石為與基底相對應的規則形狀，提高利用率．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．１１２

１２ＣＶＤ法合成單晶金剛石降低位錯密度的方法

         通過(guò)激光刻蝕技術(shù)將金剛石表面圖案化的特殊結構設計，控制單晶金剛石圖案層橫向與縱向的生長(cháng)速率，通過(guò)一次或多次圖案化處理有效

         抑制生長(cháng)過(guò)程中位錯的產(chǎn)生，獲得高質(zhì)量的單晶金剛石。優(yōu)勢是在生長(cháng)過(guò)程中控制單晶金剛石橫向和縱向的生長(cháng)速率比值，保證在凹槽內

         生長(cháng)方向與位錯線(xiàn)方向垂直，消除襯底凹槽底部的位錯遺傳，提高金剛石生長(cháng)層的晶體質(zhì)量．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．１２０

１３利用方形槽鑲嵌式襯底托抑制多晶金剛石生長(cháng)的方法

         由于石墨體在襯底與襯底托之間沉積，襯底側邊與襯底托有接觸，增大了襯底邊緣的冷卻效果，優(yōu)化單晶金剛石襯底整體溫度均勻性；極

         大地避免了襯底邊緣出現多晶生長(cháng)。通過(guò)實(shí)驗發(fā)現利用方形槽鑲嵌式襯底托可有效抑制了單晶金剛石在生長(cháng)過(guò)程中的邊緣多晶，獲得了尺

         寸不縮小的單晶金剛石樣品．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．１２９

１４大顆粒金剛石的制備方法

         能夠制備大顆粒的金剛石，晶型完整，成本低且工藝簡(jiǎn)單．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．１３６

１５信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì )社一種轉位缺陷可以被充分減低的金剛石基板的制造方法，以及高品質(zhì)的金剛石基板以及金剛石自立基板

        ．１４２

１６河南工業(yè)大學(xué)類(lèi)金剛石直接轉化合成純相多晶金剛石的制備方法

         采用類(lèi)金剛石粉末為原材料，經(jīng)凈化除雜、預壓成型后，不添加任何粘結劑，裝配燒結單元，經(jīng)高溫超高壓燒結制備純相多晶金剛石。制

         備得到的多晶金剛石的晶粒尺寸為５納米 ? １００微米，大面積形成高強度的金剛石—金剛石成鍵的界面。多晶金剛石的硬度與金剛石單

         晶硬度相當；熱穩定性，硬度，及耐磨性明顯優(yōu)于含金屬或陶瓷粘結劑的多晶金剛石．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．１６３

１７中國科學(xué)院半導體研究所異質(zhì)外延金剛石及其制備方法

         該異質(zhì)外延金剛石包括：異質(zhì)襯底；石墨烯柔性層，制備于異質(zhì)襯底上；金剛石層，外延生長(cháng)于石墨烯柔性層上；石墨烯柔性層作為異質(zhì)

         襯底上生長(cháng)金剛石的柔性中間層。利用石墨烯作為外延金剛石的模板和過(guò)渡緩沖層，消除了由于異質(zhì)襯底與金剛石間晶格失配造成的外延

         金剛石質(zhì)量降低．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．１６９

１８住友電氣工業(yè)株式會(huì )社單晶金剛石

         其包括一組彼此相對的主表面，其中，在主表面中，雜質(zhì)濃度沿著(zhù)第一方向變化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．１８０

１９住友電氣工業(yè)株式會(huì )社金剛石包含氮原子

         該氮原子的濃度沿著(zhù)金剛石單晶的晶體取向周期性地變化。沿著(zhù)晶體取向的一個(gè)周期的距離的算術(shù)平均值Ａａｖｅ、最大值Ａｍａｘ和最

         小值Ａ ｍｉｎ 滿(mǎn)足由下式（Ｉ）表示的關(guān)系：（Ａｍａｘ）／１．２５≤ （Ａａｖｅ）≤（Ａｍｉｎ）／０．７５（Ｉ）．．．．．．．．．．．．．．２１４

２０二Ａ科技有限公司單晶金剛石及其生長(cháng)方法

         單晶金剛石．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．２３３

２１住友電氣工業(yè)株式會(huì )社單晶金剛石材料、單晶金剛石芯片和穿孔工具

         在單晶金剛石材料中，非置換型氮原子的濃度為２００ｐｐｍ以下，置換型氮原子的濃度低于所述非置換型氮原子的濃度，單晶金剛石材

         料具有偏角為２０° 以下的晶體生長(cháng)主表面。在單晶金剛石芯片中，非置換型氮原子的濃度可以為２００ｐｐｍ以下，置換型氮原子的濃

         度可以低于所述非置換型氮原子的濃度，并且所述單晶金剛石芯片可以具有偏角為２０°以下的主表面．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．２６３

２２含硼金剛石及其制備方法和用途

         涉及金剛石領(lǐng)域，該含硼金剛石為多晶結構，該含硼金剛石為多晶結構，解決了現有技術(shù)中含硼金剛石為單晶結構時(shí)把持力差、容易脫落

         和不夠鋒利的問(wèn)題，解決了現有技術(shù)中的多晶金剛石在高溫下容易膨脹、破碎的技術(shù)問(wèn)題，可以用作陶瓷和金屬結合劑磨具。該含硼金剛

         石改善了多晶金剛石的熱力學(xué)穩定性，拓展了多晶金剛石的使用范圍．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．３０２

２３浙江工業(yè)大學(xué)Ｓｉ?Ｖ發(fā)光的納米金剛石晶粒

         采用熱絲化學(xué)氣相沉積法，簡(jiǎn)單易行、容易操作，制備了尺寸在７０～１００ｎｍ的Ｓｉ ?Ｖ發(fā)光的納米金剛石晶粒，其晶型規則，發(fā)光

         峰的歸一化強度約為４．５，為納米金剛石在生物標記等領(lǐng)域的應用提供了重要基礎．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．３１４

２４河南理工大學(xué)人工合成大尺寸單晶金剛石片方法

         包括生產(chǎn)晶種，合成組裝塊裝配及合成加工等三步，與現有技術(shù)相比，可有效提高人工合成金剛石的直徑，并實(shí)現同批次的人工合成金剛

         石生產(chǎn)中可同時(shí)制備不同直徑人工合成金剛石的需要，從而在有效滿(mǎn)足市場(chǎng)對單晶金剛石需求的同時(shí)，另可有效的滿(mǎn)足市場(chǎng)對小直徑單晶

         金剛石的需要，并可有助于降低人工合成金剛石生產(chǎn)的成本．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．３２２

２５一種人工生長(cháng)大顆粒金剛石單晶的方法及裝置

         能夠有效避免了大顆粒金剛石單晶生長(cháng)過(guò)程中的金屬夾帶現象，生長(cháng)出了粒徑大于１０ｍｍ的大顆粒金剛石單晶，大幅度提高生產(chǎn)效率．．．．．．．．３２８

２６一種具有半導體性質(zhì)Ⅱｂ型金剛石單晶的人工生長(cháng)方法及裝置

         方法是向作為碳源的石墨中摻加氮化硼，使金剛石晶體在生長(cháng)過(guò)程中有硼原子摻雜，高溫高壓條件下，將金剛石晶種置于金屬觸媒的底部，

         利用溫度梯度法生長(cháng)；采用高溫高壓條件，以摻加硼的石墨為碳源，利用溫度梯度法生長(cháng)出了粒徑大于１０ｍｍ且具有半導體性質(zhì)的Ⅱｂ

         型的金剛石單晶．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．３４３

２７住友電氣工業(yè)株式會(huì )社單晶金剛石及其制造方法

         包含單晶金剛石的工具和包含單晶金剛石的部件，適合用于切削工具、拋光工具、光學(xué)部件、電子部件、半導體材料等．．．．．．．．．．．．．．．３５４

２８住友電氣工業(yè)株式會(huì )社提供單晶金剛石、制造所述單晶金剛石的方法以及包含所述金剛石的工具

         單晶金剛石以均衡方式提高了硬度和耐缺損性。單晶金剛石含有氮原子，且所述單晶金剛石中的孤立置換型氮原子的數目對所述單晶金剛

         石中的氮原子總數之比為０．０２％以上且低于４０％．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．３８７

２９信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì )社金剛石膜的制造方法

         其特征是至少具有在單晶基板上化學(xué)氣相沉積金剛石膜的工序、以及由單晶基板分離該金剛石膜的工序，單晶基板使用Ｉｒ單晶或Ｒｈ單

         晶，單晶基板在取出金剛石膜后能夠重復使用，由單晶基板分離該金剛石膜的工序是，通過(guò)將層積基板從高溫的加熱狀態(tài)冷卻至低溫，利

         用在單晶基板和金剛石膜的界面產(chǎn)生的應力而分離金剛石膜．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．４０５

３０哈爾濱工業(yè)大學(xué)一種利用等離子體擋板優(yōu)化單晶金剛石同質(zhì)外延生長(cháng)的方法

         涉及優(yōu)化單晶金剛石同質(zhì)外延生長(cháng)的方法。要解決現有ＭＷＣＶＤ生長(cháng)系統中等離子體密度對籽晶生長(cháng)質(zhì)量的影響，等離子體形態(tài)與籽晶

         接觸方式導致側向生長(cháng)區域質(zhì)量較低，以及等離子體中碳源沉積污染艙體等問(wèn)題．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．４１６

３１金剛石涂層及沉積該涂層的方法

         涉及金剛石涂層，其特征在于它包含至少一個(gè)第一納米晶金剛石層和第二微晶金剛石層的疊層．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．４３６

３２哈爾濱工業(yè)大學(xué)異質(zhì)外延生長(cháng)大尺寸單晶金剛石的襯底及其制備方法

         在其中插入了ＴｉＮ單晶籽晶層作為外延模板和過(guò)渡緩沖層，提高了氧化物及整個(gè)襯底外延層的晶向的取向一致度及生長(cháng)質(zhì)量，從而為生

         長(cháng)高質(zhì)量大尺寸單晶金剛石提供了可能；由于使用了ＴｉＮ緩沖層，整個(gè)外延疊層結構可以基于Ｓｉ襯底進(jìn)行，使得外延成本大大地降低，

         同時(shí)基于Ｓｉ襯底生長(cháng)金剛石，可以更好地與電子信息工業(yè)相匹配．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．４４６

３３六號元素有限公司制備鮮艷橙色的合成ＣＶＤ金剛石材料的方法

         方法包括輻照已經(jīng)由ＣＶＤ生長(cháng)的單晶金剛石材料從而將孤立空位引入至少一部分的ＣＶＤ金剛石材料中，并且隨后退火該輻照的金剛石

         材料，從而由至少一些所引入的孤立空位形成空位鏈。還描述了鮮艷橙色的ＣＶＤ金剛石材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．４５９

３４信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì )社研制單晶金剛石的制造方法

３５超細顆粒金剛石單晶的合成方法

         采用的觸媒粉末為Ｎｉ基合金觸媒粉末。利用可制備超細顆粒的金剛石單晶，合成的４００目以細超細顆粒金剛石含量達９０％以上，晶

         形完整率達８５％以上；有效地解決了現有技術(shù)難以合成超細顆粒金剛石的不足；金剛石晶型完整，純凈度高、熱沖值達８０～８７％．．．．．．．．４８８

３６上海交通大學(xué)超細金剛石單晶微粉的制備方法

         包括以機械破碎法得到的金剛石微粉作為籽晶，采用光刻膠超聲振動(dòng)均勻分散金剛石晶種工藝，將籽晶均散在硅基襯底表面，金剛石微粉

         的粒度為Ｍ０／１～Ｍ６／１２；應用熱絲化學(xué)氣相沉積法對經(jīng)過(guò)播種籽晶的硅基襯底進(jìn)行沉積，獲得金剛石單晶顆粒；采用化學(xué)腐蝕硅

         基襯底結合高速離心沉降顆粒工藝處理獲得的金剛石單晶顆粒，以獲得超細單晶金剛石微粉．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．４９８

３７上海交通大學(xué)硼摻雜超／精細金剛石單晶微粉的制備方法

         超／精細金剛石微粉中具有六－八面體或二十面體聚形晶體形態(tài)的比例較高，不但可顯著(zhù)提高超／精細金剛石單晶顆粒的生長(cháng)速率，還可

          改善顆粒的晶形及表明質(zhì)量．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．５１０

３８六號元素技術(shù)有限公司合成金剛石材料

         其包含一個(gè)或多個(gè)自旋缺陷，該一個(gè)或多個(gè)自旋缺陷具有不大于１００ＭＨｚ的半峰全寬固有非均勻的零聲子譜線(xiàn)寬度。用于獲得這樣的

         材料的方法包括多階段退火過(guò)程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．５２２

３９六號元素技術(shù)有限公司一種著(zhù)色的單晶ＣＶＤ合成金剛石材料

         其包含：多個(gè)層；其中所述多個(gè)層包括至少兩組層，所述至少兩組層在它們的缺陷組成和顏色方面不同，其中所述至少兩組層各自的缺陷

         類(lèi)型、缺陷濃度和層厚度為：如果將所述著(zhù)色的單晶ＣＶＤ金剛石材料制造成圓形明亮式切割金剛石，該圓形明亮式切割金剛石包含臺面

         和底尖，并且具有大于１ｍｍ的臺面至底尖深度．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．５４４

４０Ｎ型半導體金剛石單晶及其生產(chǎn)方法

         單晶導電性較好，光熱轉換效率高，適合于太陽(yáng)能電池、ＬＥＤ光源、高性能芯片的制作，產(chǎn)品性能穩定．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．５６７

４１六號元素技術(shù)有限公司一種單晶ＣＶＤ合成金剛石材料

         顏色強度在單晶ＣＶＤ合成金剛石材料中是均勻的，使得以灰度值標準偏差除以灰度值平均值為特征的灰度色的變化小于４０％．．．．．．．．．．．５７６

４２住友電氣工業(yè)株式會(huì )社單晶金剛石

         其由碳同位素１２Ｃ的濃度為９９．９質(zhì)量％以上的碳以及除了碳以外的多種不可避免的雜質(zhì)構成。該不可避免的雜質(zhì)包括氮、硼、氫和

         鎳；并且所述多種不可避免的雜質(zhì)中的氮、硼和氫的總含量設定為０．０１質(zhì)量％以下．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．６１２

４３東山國際有限公司在反應池中的用于金剛石生長(cháng)的多層結構

         該多層結構包括：金剛石晶種；設于金剛石晶種上的第一金屬催化層，該第一金屬催化層包含第一濃度的碳；設于第一金屬層之上的第二

         金屬催化層，該第二金屬催化層包含高于第一濃度的第二濃度的碳；以及設于第二金屬層之上的碳源層．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．６４５

４４吉林大學(xué)金剛石納米坑陣列及其制備方法屬于金剛石納米結構的技術(shù)領(lǐng)域

         具有操作簡(jiǎn)單，成本低，可大面積生產(chǎn)，刻蝕氣體安全無(wú)污染等優(yōu)點(diǎn)；將納米金的廣泛應用與金剛石的優(yōu)異特性相結合，為金納米顆粒提

         供穩定的基底，能改善金納米顆粒在應用中所存在的易聚合及加入穩定劑造成表面污染的問(wèn)題．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．６５３

４５株式會(huì )社神戶(hù)制鋼所提供一種排列有大型的多邊形金剛石晶粒的陣列化金剛石膜

         通過(guò)容易地使避開(kāi)晶界的元件配置形成，由此，能夠實(shí)質(zhì)上與在單晶基板上同等地高效地制造高性能的元件，并通過(guò)沿著(zhù)晶界分割從而能

         夠容易地制造元件。該陣列化金剛石膜是在 不同種材料的結晶基板上，接著(zhù)其結晶方位的信息開(kāi)始成長(cháng)的高取向金剛石膜，其中，在表面

         中，多邊形金剛石晶粒以重心間距離為２０ μｍ 以上的二維重復圖案排列．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．６６２

４６信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì )社單結晶金剛石生長(cháng)用基體材料以及單結晶金剛石基板的制造方法

         能夠讓大面積高結晶性單結晶金剛石生長(cháng)的，以及可以低成本制造高品質(zhì)單結晶金剛石基板的單結晶金剛石生長(cháng)用基體材料以及單結晶金

         剛石基板的制造方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．６７９

４７一種單晶金剛石的層流等離子體的制備方法

         通過(guò)調控等離子體的流體特性，構建出穩定的層流等離子體邊界層，使單晶金剛石能夠在大尺寸襯底上進(jìn)行穩定生長(cháng)。從而避免當前直流

         等離子體沉積單晶金剛石的多晶化和小尺寸襯底的問(wèn)題。提供了一條適合采用大尺寸籽晶、穩定制備單晶金剛石的途徑，使單晶金剛石穩

         定生長(cháng)區尺寸在等離子體運動(dòng)軸線(xiàn)方向達到７厘米，并有效抑制了單晶生長(cháng)表面的多晶化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．６９２

４８六號元素有限公司一種用于在合成環(huán)境中在基底上合成金剛石材料的化學(xué)氣相沉積（ＣＶＤ）方法

         涉及用于合成合成CVD金剛石材料的方法和高品質(zhì)的合成CVD 金剛石材料．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．７０１

４９能夠用于高精度拋光加工的納米單晶金剛石

         該納米單晶金剛石是將粒度大于納米級的單晶金剛石顆粒通過(guò)球磨粉碎制成。能夠以便捷可行的途徑獲得納米級單晶金剛石，并且生產(chǎn)成

         本相對較低．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．７３６

５０住友電氣工業(yè)株式會(huì )社適合用于半導體器件襯底或光學(xué)元件材料的高質(zhì)量單晶金剛石

         其具有更少畸變并且具有大的面積。是一種通過(guò)化學(xué)氣相沉積制備的單晶金剛石以及該金剛石的制備方法，其中，當將由兩條相互垂直的

         線(xiàn)性偏振光組成的線(xiàn)性偏振光引入到單晶金剛石的一個(gè)主面上時(shí)，在從相反的主面出來(lái)的兩條相互垂直的線(xiàn)性偏振光之間的最大延遲值橫

         跨整個(gè)單晶金剛石最大不超過(guò) ５０ｎｍ ／１００μｍ的厚度．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．７４９

５１華盛頓卡內基研究所超硬金剛石及其制造方法

         一種通過(guò)微波等離子體化學(xué)氣相沉積生長(cháng)、在超過(guò)４．０ＧＰａ的壓力下加熱到超過(guò)１５００℃的溫度進(jìn)行退火的單晶金剛石，其硬度大

         于１２０ＧＰａ．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．７６２

５２六號元素有限公司單晶ＣＶＤ（化學(xué)氣相沉積）金剛石體，耐磨應用中的CVD金剛石

         其特別適合用作用于耐磨應用的耐磨材料，如拉絲模具、繪畫(huà)工具等。金剛石具有低的磨損速率，表現出指示低應變的低的雙折光指數，

         并具有可以被加工以表現出高表面拋光的能力．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．７７５

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              一、研制和改善工藝、配方、降低成本、提高企業(yè)產(chǎn)品效益。解決制造工藝及應用技術(shù)問(wèn)題

?????                      資料中每項新技術(shù)工藝配方，都是針對現有技術(shù)的改進(jìn)和提高，掌握這些優(yōu)秀新技術(shù)，有利于提高企業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量。

           例如：

          ★   單晶金剛石的生長(cháng)方法，通過(guò)三層結構來(lái)生長(cháng)高質(zhì)量單晶金剛石。解決了傳統金剛石生長(cháng)過(guò)程中外延層高的生長(cháng)速率與外延層質(zhì)量之間相矛盾的問(wèn)題！

             ★   橫向搭橋拼接生長(cháng)大面積單晶金剛石的方法，解決了金剛石拼接生長(cháng)過(guò)程中拼接縫明顯，金剛石容易發(fā)生相對移動(dòng)的問(wèn)題!

             ★   改進(jìn)單晶金剛石生長(cháng)方法和裝置，能夠實(shí)現大尺寸單晶金剛石的快速生長(cháng) !

             ★   激光增強等離子體CVD制備單晶金剛石裝置及其方法，有效解決了金剛石高速批量制備的難題!

             ★   金剛石單晶生長(cháng)裝置及方法，能夠有效地提高金剛石單晶生長(cháng)質(zhì)量，解決一次生長(cháng)不了太厚的問(wèn)題!

             ★   微波等離子體化學(xué)氣相沉積方法生長(cháng)單晶金剛石領(lǐng)域，特別涉及一種梯度單晶金剛石及其制備方法，制備出高質(zhì)量、高強度、韌性好的梯度單晶金剛石!

             ★   金剛石降低位錯密度的方法。在生長(cháng)過(guò)程中控制單晶金剛石橫向和縱向的生長(cháng)速率比值，提高金剛石生長(cháng)層的晶體質(zhì)量!

             ★   異質(zhì)外延金剛石及其制備方法，利用石墨烯作為外延金剛石的模板和過(guò)渡緩沖層，消除了由于異質(zhì)襯底與金剛石間晶格失配造成的外延金剛石質(zhì)量降低！

             ★   含硼金剛石及其制備方法和用途，解決了現有技術(shù)中的多晶金剛石在高溫下容易膨脹、破碎的技術(shù)問(wèn)題，可以用作陶瓷和金屬結合劑磨具！

             ★   人工合成大尺寸單晶金剛石片方法，可有效的滿(mǎn)足市場(chǎng)對小直徑單晶金剛石的需要，并可有助于降低人工合成金剛石生產(chǎn)的成本！

             ★   人工生長(cháng)大顆粒金剛石單晶的方法及裝置，避免大顆粒金剛石單晶生長(cháng)過(guò)程中的金屬夾帶現象，粒徑大于10mm的大顆粒金剛石單晶，提高生產(chǎn)效率！

             ★   單晶金剛石、制造所述單晶金剛石的方法以及包含所述金剛石的工具，單晶金剛石以均衡方式提高了硬度和耐缺損性！

             ★   優(yōu)化單晶金剛石同質(zhì)外延生長(cháng)的方法。解決現有等離子體形態(tài)與籽晶接觸方式導致側向生長(cháng)區域質(zhì)量較低，以及等離子體中碳源沉積污染艙體等問(wèn)題！

             ★   異質(zhì)外延生長(cháng)大尺寸單晶金剛石的襯底及其制備方法，使用了TiN緩沖層，整個(gè)外延疊層結構可以基于Si襯底進(jìn)行，使得外延成本大大地降低！

             ★   超細顆粒金剛石單晶的合成方法，解決了現有技術(shù)難以合成超細顆粒金剛石的不足；金剛石晶型完整，純凈度高、熱沖值達80～87%！

             ★   N型半導體金剛石單晶及其生產(chǎn)方法。單晶導電性較好，光熱轉換效率高，適合于太陽(yáng)能電池、LED光源、高性能芯片的制作，產(chǎn)品性能穩定！

             ★   單晶CVD合成金剛石材料，顏色強度在單晶CVD合成金剛石材料中是均勻的，使得以灰度值標準偏差除以灰度值平均值為特征的灰度色的變化小于40％！            

        二、溝通企業(yè)與科研院校的技術(shù)合作的橋梁、掌握國內外新技術(shù)，新工藝動(dòng)向、是投資新產(chǎn)品決策依據。

           （1）通過(guò)這些技術(shù)資料您可以充分掌握國內外金剛石制造行業(yè)最優(yōu)秀的核心技術(shù)配方和工藝，您可以：1、提高產(chǎn)品質(zhì)量，改進(jìn)配方，降低生產(chǎn)成本， 2、解

            決生產(chǎn)中的技術(shù)問(wèn)題、應用技術(shù)問(wèn)題；3、掌握科研院校最新技術(shù)成果。開(kāi)闊產(chǎn)品開(kāi)發(fā)思路，產(chǎn)學(xué)研對接，投資新產(chǎn)品；  4、掌握同行業(yè)競爭對手的新產(chǎn)品策

            略，產(chǎn)品技術(shù)水平，市場(chǎng)核心產(chǎn)品配方。

          （2）通過(guò)這些技術(shù)資料，您可以及時(shí)掌握國內科研院校、研究所、生產(chǎn)企業(yè)的最新技術(shù)成果?？梢杂嗅槍π缘嘏c優(yōu)秀技術(shù)成果的研制院校、科研單位建立

           技術(shù)合作，共贏(yíng)發(fā)展。國家也鼓勵高等院校、科研院所科研人員在完成所在單位工作任務(wù)的前提下，以專(zhuān)職、兼職或受聘的形式在轉化基地開(kāi)展中試、試

           制、實(shí)用推廣等成果產(chǎn)業(yè)化活動(dòng)。

???  

          （3）金剛石制造及相關(guān)研制企業(yè)單位可以通過(guò)這些技術(shù)資料，了解競爭對手的技術(shù)水平、跟蹤最新技術(shù)發(fā)展動(dòng)向、提高研發(fā)起點(diǎn)、加快產(chǎn)品升級和防范知識

           產(chǎn)權風(fēng)險，為自主創(chuàng )新、技術(shù)改造、產(chǎn)業(yè)或行業(yè)標準制定和實(shí)施“走出去”戰略發(fā)揮重要作用。也是新產(chǎn)品引進(jìn)、投資決策的重要依據。

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（摘錄）異質(zhì)外延生長(cháng)大尺寸單晶金剛石的襯底及其制備方法

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?? 【技術(shù)背景】

?? 【大尺寸單晶金剛石的襯底及其制備技術(shù)】

????據恒志信網(wǎng)消息：針對上述現有技術(shù)存在的問(wèn)題中。國內某科技型新材料企業(yè)最新研制針對Si上沉積的氧化物沉積質(zhì)量有待提高的問(wèn)題，為得到符合要求的外延襯底及多層單晶過(guò)渡層，提供了一種異質(zhì)外延生長(cháng)大尺寸單晶金剛石的襯底及其制備方法，該襯底具有新的過(guò)渡層疊層結構，可以改善襯底中各層的質(zhì)量，從而與Si襯底進(jìn)行匹配，并得到外延質(zhì)量更好的大尺寸單晶金剛石。

?? 【大尺寸單晶金剛石的襯底及其制備技術(shù)優(yōu)點(diǎn)】

         設計并制備了一種可異質(zhì)外延生長(cháng)大尺寸單晶金剛石的疊層，特別地，在其中插入了TiN單晶籽晶層作為外延模板和過(guò)渡緩沖層，提高了氧化物及整個(gè)襯底外延層的晶向的取向一致度及生長(cháng)質(zhì)量，從而為生長(cháng)高質(zhì)量大尺寸單晶金剛石提供了可能:由于使用了TiN緩沖層，整個(gè)外延疊層結構可以基于Si 襯底進(jìn)行，使得外延成本大大地降低，同時(shí)基于Si 襯底生長(cháng)金剛石，可以更好地與電子信息工業(yè)相匹配。

?? 【大尺寸單晶金剛石的襯底及其制備技術(shù)】部分摘要

??

[0025] 步驟二、Ti N 單晶籽晶層的生長(cháng):

步驟蘭、氧化物單晶薄膜的生長(cháng):
金屬氧化物ST0(SrTi 03)采用分子束外延(MBE)進(jìn)行制備。革巴材采用Sr0和Ti02，控制02壓強0.0lPa，襯底溫度800℃，控制靶盤(pán)的旋轉，使兩種靶材依次附著(zhù)于基底上，反應生成SrTi03 ，控制時(shí)間約30min ，使得生長(cháng)出的ST0層厚度約為60~120nm。

[0028] 步驟四、銥(I r) 單晶薄膜的生長(cháng):
利用分子束外延(MBE) 進(jìn)行襯底最上層Ir 層的生長(cháng)制備。靶材采用高純金屬銥，控制氣壓為10-7pa，襯底溫度為950℃控制時(shí)間約30min，使生長(cháng)出的STO層厚度控制在
50~100nm 。

[0029] 步驟五、檢測銥(I r) 層的晶格完整度及晶格取向:
利用X 射線(xiàn)搖擺曲線(xiàn)(ωscan) 對Ir的晶格完整度進(jìn)行測試，得到搖擺曲線(xiàn)半高寬。利用X 射線(xiàn)衍射(XRD) 圖譜表征Ir 的晶格取向，觀(guān)察到Ir 層晶格均為(100)方向，表明外
延生長(cháng)出的Ir 晶格取向高度一致。以上兩種測試綜合表明了外延生長(cháng)出的Ir層質(zhì)量良好，達到所需標準。

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《超硬材料新技術(shù)》

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