以下是光刻膠剝離劑的新技術(shù)及其最新進(jìn)展：
新型化學(xué)配方
環(huán)保型配方：默克公司推出的AZ? 910 去除劑，基于不含有NMP（N-甲基吡咯烷酮）的新型特制化學(xué)配方。這種配方不僅能夠快速溶解殘留光刻膠，還具備超高的經(jīng)濟(jì)性、出色的環(huán)保性和廣泛的適用性。與傳統(tǒng)NMP清洗劑相比，它可直接溶解負(fù)性和正性光刻膠，而非僅剝離，從而將清洗工藝時(shí)間縮短近一半，同時(shí)延長(zhǎng)相關(guān)材料和過(guò)濾設(shè)備的使用壽命，降低總體成本。
多功能配方：一種新型的光刻膠剝離液，包含用于溶解的有機(jī)溶劑、加快去膠速率的解交聯(lián)催化劑，以及避免基片腐蝕的防腐蝕保護(hù)劑。這種剝離液能夠縮短去膠周期，對(duì)人體和環(huán)境無(wú)毒性，尤其適用于曝光后發(fā)生交聯(lián)的光刻膠，尤其是負(fù)性光刻膠，能夠徹底清除，防止影響后續(xù)使用性能。
新的剝離工藝
無(wú)需加熱和振蕩的工藝：上述提到的新型光刻膠剝離液，其應(yīng)用工藝不需要加熱、振蕩等過(guò)程。這不僅可以提高去膠速度，還能避免輔助措施可能對(duì)基片造成的破壞，進(jìn)一步提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
等離子體剝離技術(shù)：等離子光刻膠剝離劑因其提供環(huán)保解決方案同時(shí)確保與先進(jìn)技術(shù)兼容的能力而受到關(guān)注。這種技術(shù)通過(guò)等離子體的作用來(lái)去除光刻膠，具有更高的去除效率和精度，且對(duì)環(huán)境友好，符合未來(lái)半導(dǎo)體制造對(duì)綠色生產(chǎn)的要求。
其他技術(shù)突破
高精度去除：隨著半導(dǎo)體制造工藝向更小尺寸和更高集成度發(fā)展，對(duì)光刻膠剝離劑的性能要求也在不斷提高。研發(fā)人員正在致力于開(kāi)發(fā)能夠更精確地去除光刻膠，同時(shí)最大限度減少對(duì)硅晶片損害的剝離劑，以滿(mǎn)足嚴(yán)格的環(huán)境和安全標(biāo)準(zhǔn)。
國(guó)產(chǎn)化進(jìn)展：在國(guó)內(nèi)，相關(guān)企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)也在積極推進(jìn)光刻膠剝離劑的國(guó)產(chǎn)化。例如，華中科技大學(xué)武漢光電國(guó)家研究中心團(tuán)隊(duì)在半導(dǎo)體專(zhuān)用光刻膠領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大突破，這為光刻膠剝離劑的國(guó)產(chǎn)化研發(fā)提供了有力的技術(shù)支持。
【閱讀國(guó)際專(zhuān)利資料】
1、拓寬企業(yè)新產(chǎn)品開(kāi)發(fā)思路、掌握最先進(jìn)的工藝配方，創(chuàng)新產(chǎn)品設(shè)計(jì)思路，品牌戰(zhàn)略、營(yíng)銷(xiāo)策略、產(chǎn)品策略；
2、開(kāi)發(fā)研制新產(chǎn)品，參與國(guó)際市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)
3、利用知識(shí)產(chǎn)權(quán)戰(zhàn)略，增強(qiáng)其知識(shí)產(chǎn)權(quán)創(chuàng)造、利用、管理與經(jīng)營(yíng)能力
【目標(biāo)客戶(hù)】國(guó)內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)、產(chǎn)品工業(yè)設(shè)計(jì)院所，研究機(jī)構(gòu)，科研院校的科技人員、公司經(jīng)理。
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